[实用新型]一种配合真空处理箱用的载盘往返进料、出料机构有效
| 申请号： | 202022561638.6 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN213949893U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 张永雷 | 申请（专利权）人： | 昆山国华电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;B65G25/06 |
| 代理公司： | 苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙) 32354 | 代理人： | 黄丽 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种配合真空处理箱用的载盘往返进料、出料机构，包括进料台、自动抓取组件、真空箱以及出料台，进料台和出料台均采用电动丝杆副控制推移装有载盘的料盒定位至预定进料位置和出料位置，自动抓取组件包括与进料台、出料台垂直布置的电动滑台、平行布置滑块滑轨组件以及抓取组件，抓取组件设有支撑架、升降气缸、抓取盒以及抓取气缸，该机构利用电动丝杆副控制装有载盘的料盒摆放至真空箱的预定进料位置，由电动滑台带动自动抓取组件将载盘有序地进料至真空箱，并且同样利用自动抓取组件在一次行程里将真空箱内完成清洗的载盘取出并放置到出料位置，占用空间小，可以应用于现有真空箱打开状态的有限空间内进料或出料，简单实用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 配合 真空 处理 往返 进料 机构 | ||
【主权项】：
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