[实用新型]用于划片机θ转轴调平装置有效
| 申请号： | 202022564268.1 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN214237569U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 李超;蒋兴桥;韩华超;赵陨;马岩;刘荒;李东旭;尹宁;曹正第;袁悦 | 申请（专利权）人： | 沈阳仪表科学研究院有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/22 | 分类号： | B24B19/22;B24B41/02;B24B47/22;H01L21/67 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 郭元艺 |
| 地址： | 110043 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型属晶圆划片机调平领域，尤其涉及一种用于划片机θ转轴调平装置，包括滑板（1）；在所述滑板（1）四周分别垂直固定设有4个θ转轴调平部件（2、3）；所述θ转轴调平部件（2、3）上部设有θ转轴基准板（4）；所述θ转轴基准板（4）通过穿过调整地脚锚栓螺栓间隙孔（23）的内六角圆柱头螺柱（5）与滑板（1）固定相接；所述θ转轴基准板（4）之上固定设有DD马达（6）；在所述DD马达（6）动力输出端固定设有转动平台（7）；在所述转动平台（7）之上设有负压吸盘。本实用新型可实现调节负压吸盘的水平度，显著提升晶圆片的成品率和切割质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 划片 转轴 平装 | ||
【主权项】：
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