[实用新型]简统化配置的掺杂剂掺杂装置及单晶炉有效
| 申请号： | 202022565411.9 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN213596457U | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 周文辉 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 张淼 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种简统化配置的掺杂剂掺杂装置，包括石英杯、导气管，石英杯包括杯本体、杯顶盖、杯底板、吊耳，杯本体为一上下开口的筒体，杯本体的上开口处盖合有杯顶盖，杯本体的下开口处盖合有杯底板，杯底板上密布透气孔，杯本体内腔盛放掺杂剂，在杯本体的顶部设有吊耳，导气管的上端与杯本体的下开口对接，导气管的下端与石英坩埚的顶部开口对接，新的设计方案省略了石英钟罩，简化了掺杂装置的结构，新的设计方案增加了导气管，掺杂剂气化后通过杯底板的透气孔进入导气管，气态掺杂剂全部进入导气管，然后集中进入石英坩埚，导气管的容积相比单晶炉的副炉室和主炉室的容积要小的多，掺杂剂的利用率高，避免了掺杂剂的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 简统化 配置 掺杂 装置 单晶炉 | ||
【主权项】：
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