[实用新型]用于磁控溅射镀膜机的隔断装置及磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 202022573150.5 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN213507173U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 唐莲;金诚明;祝海生;孙桂红;黄乐;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种用于磁控溅射镀膜机的隔断装置及磁控溅射镀膜机，用于磁控溅射镀膜机的隔断装置包括隔断本体，所述隔断本体设置在所述磁控溅射镀膜机的前处理室和镀膜室之间并用于关闭密封或开启，所述用于磁控溅射镀膜机的隔断装置还包括驱动机构，所述驱动机构与所述隔断本体连接，以驱动所述隔断本体进行上下移动。本实用新型提供的隔断装置能够有效提升其兼容性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 磁控溅射 镀膜 隔断 装置 | ||
【主权项】：
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