[实用新型]扩散泵有效

专利信息
申请号: 202022578598.6 申请日: 2020-11-10
公开(公告)号: CN213574879U 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 孙会民;张继辉;刘春雷 申请(专利权)人: 沈阳蓝菱真空设备制造有限公司
主分类号: F04F9/00 分类号: F04F9/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 110033 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型提供一种扩散泵,包括:壳体;冷却装置;泵芯,在泵芯的不同高度上开设有多个喷嘴;喷嘴与泵芯之间的呈40度~70度夹角;喷嘴的外壁上开设有沿喷嘴长度方向的滑槽;转动组件,包括通过滑块设置在滑槽上的连接件和设置在连接件上的叶片;加热装置。本实用新型所述的扩散泵具有喷嘴喷射出的气流扩散性好,扩散泵的抽吸力和极限真空度好的优点。
搜索关键词: 扩散
【主权项】:
暂无信息
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