[实用新型]扩散泵有效
申请号: | 202022578598.6 | 申请日: | 2020-11-10 |
公开(公告)号: | CN213574879U | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 孙会民;张继辉;刘春雷 | 申请(专利权)人: | 沈阳蓝菱真空设备制造有限公司 |
主分类号: | F04F9/00 | 分类号: | F04F9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 110033 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型提供一种扩散泵,包括:壳体;冷却装置;泵芯,在泵芯的不同高度上开设有多个喷嘴;喷嘴与泵芯之间的呈40度~70度夹角;喷嘴的外壁上开设有沿喷嘴长度方向的滑槽;转动组件,包括通过滑块设置在滑槽上的连接件和设置在连接件上的叶片;加热装置。本实用新型所述的扩散泵具有喷嘴喷射出的气流扩散性好,扩散泵的抽吸力和极限真空度好的优点。 | ||
搜索关键词: | 扩散 | ||
【主权项】:
暂无信息
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