[实用新型]一种光斑可视化精密狭缝装置有效
| 申请号： | 202022584668.9 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN213658613U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 黄耀波;朱大明;吴佳兴;计展;赵雁;王勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海高等研究院 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 邓琪 |
| 地址： | 201210 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光斑可视化精密狭缝装置，包括真空腔体，设有法兰视窗和法兰接口；狭缝装置，设于所述真空腔体的内部；观测装置，用于观测狭缝装置，设于所述真空腔体的外部，并与所述法兰视窗相连；精密运动装置，与所述法兰接口相连，并具有延伸进所述真空腔体内部的连接杆，所述连接杆与所述狭缝装置相连；角度调节装置，设于所述真空腔体的外部，并通过一连接件与所述真空腔体连接。本实用新型能够在保证狭缝精密运动的同时，提供光斑位置的可视化观测，实现光斑调节的快速可视化及便捷性，同时在光束线运行时也能方便实时监测光斑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光斑 可视化 精密 狭缝 装置 | ||
【主权项】：
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