[实用新型]一种测试结构有效
| 申请号： | 202022591075.5 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN213278088U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 哀立波;任云翔;王明;韩谷昌;熊保玉 | 申请（专利权）人： | 浙江驰拓科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 陈晓瑜 |
| 地址： | 311300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种测试结构，该测试结构通过使上下重合的第一底金属梳状结构及第一顶金属梳状结构均与第一测试电极电连接，使多个第二顶金属梳齿分别通过n个并联的磁隧道结与第二顶金属梳状结构电连接，且第二顶金属梳状结构与第二测试电极连接。使两个底金属梳齿短路短路及两个顶金属梳齿短路时，电流路径不同，第一测试电极及第二测试电极之间的测试参数不同，准确判断是两个底金属梳齿短路短路还是两个顶金属梳齿短路，一个测试结构能够得到是顶金属梳齿短路还是底金属梳齿短路的失效情况。通过使上下重合的每对梳齿均通过并联的n个磁隧道结电连接，即使少数磁隧道结失效，也对测试结果影响不大，降低了测试结构的缺陷敏感性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 结构 | ||
【主权项】：
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