[实用新型]一种复合型多功能双面卷绕镀膜机有效
申请号: | 202022594812.7 | 申请日: | 2020-11-11 |
公开(公告)号: | CN213739666U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请(专利权)人: | 广东腾胜科技创新有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/26;C23C14/30 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 张晨 |
地址: | 526000 广东省肇庆市三榕*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,具体涉及一种复合型多功能双面卷绕镀膜机,包括真空容器,真空容器内设有收放卷室,第一镀膜机构,第二镀膜机构;第一镀膜机构包括第一镀膜辊,沿着第一镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区;第二镀膜机构包括第二镀膜辊,沿着第二镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区;收放卷室内设有放卷辊、第一导辊、第二导辊和收卷辊,从放卷辊出来的薄膜基材依次经过第一导辊、第一镀膜辊、第二镀膜辊、第二导辊、收卷辊。本实用新型实现了磁控溅射镀膜和蒸发镀膜的复合镀膜功能以及薄膜基材连续双面镀膜的功能,提高了镀膜的质量和生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 复合型 多功能 双面 卷绕 镀膜 | ||
【主权项】:
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