[实用新型]一种合成锑化铝多晶材料工艺的装置有效
| 申请号： | 202022612467.5 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN213896063U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 殷子昂;张香港;刘珂静;王涛 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B28/04 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 王鲜凯 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种合成锑化铝多晶材料工艺的装置，包括石英塞、石墨垫片、氮化硅陶瓷坩埚和石英坩埚；氮化硅陶瓷坩埚置于石英坩埚内，石墨垫片位于氮化硅陶瓷坩埚上端口，石英塞置于石墨垫片2上方，且置于石英坩埚内，石英塞与石英坩埚通过氢氧焰焊接。本发明装置中氮化硅陶瓷坩埚在高温下不与锑化铝熔体反应，同时通过石墨垫片实现氮化硅陶瓷坩埚密封效果，在氮化硅坩埚中形成密闭体系，实现抑制锑元素蒸发，以及防止外石英坩埚吸附铝元素反应破裂的效果，保证合成过程中熔体组分不损失，并且在高温下石墨垫片具有吸附残余氧的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合成 锑化铝 多晶 材料 工艺 装置 | ||
【主权项】：
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