[实用新型]一种掩膜板框架及掩膜板组件有效
| 申请号： | 202022623233.0 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN213772187U | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 高崇;梁舰;史晓波;冯敏强 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于掩膜板技术领域，公开了一种掩膜板框架，用于支撑掩膜板，掩膜板框架包括基座和至少一组调整机构，基座上设置有窗口，掩膜板支撑于窗口处，调整机构滑动设置于基座上，并与掩膜板相连，每组调整机构均包括两组拉伸组件，两组拉伸组件均滑动设置于基座上并位于窗口的相对两侧，拉伸组件与掩膜板的对应侧相连，两组拉伸组件能够沿第一方向靠近或远离窗口，以将掩膜板拉紧或放松，通过两组拉伸组件将掩膜板拉紧，以对掩膜板的下垂形变进行拉伸调整，以提升蒸镀图形的精度，本实用新型还提供了一种掩膜板组件包括掩膜板框架以及支撑于掩膜板框架上的掩膜板，该掩膜板组件能够调整掩膜板的下垂形变，以提升蒸镀图形的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 框架 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，未经江苏集萃有机光电技术研究所有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022623233.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种手机配件生产用数控钻孔加工装置
- 下一篇：一种轮圈耐磨测试机
- 同类专利
- 专利分类
