[实用新型]一种刻蚀机的下电极载片台有效
| 申请号： | 202022633372.1 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN213424918U | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王亚骏 | 申请（专利权）人： | 杭州帕兹电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 姜宇 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市萧山区萧山*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种刻蚀机的下电极载片台，属于载片台技术领域。该刻蚀机的下电极载片台包括基座箱和升降清扫机构。所述升降清扫机构包括减速电机、垂直丝杆、滑块、支杆、载片台体、电动推杆和刷子，所述减速电机固定连接于所述基座箱内底部一侧，所述垂直丝杆转动连接于所述基座箱内部，所述减速电机输出端与所述垂直丝杆底部传动连接，所述滑块与所述垂直丝杆传动连接，所述支杆底部与所述滑块顶面两侧固定连接，所述支杆滑动贯穿于所述基座箱内顶部，所述支杆顶部与所述载片台体底部固定连接。本实用新型方便对载片台的高度进行调节以及方便对载片台清理，从而提高载片台适用于以及保障了载片台清洁型。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 电极 载片台 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州帕兹电子有限公司，未经杭州帕兹电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022633372.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有防冻作用的智能水表结构
- 下一篇：无人机转向尾桨
