[实用新型]一种蒸镀腔体内冷却结构及蒸镀装置有效
| 申请号： | 202022633430.0 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN213772191U | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 黄稳;朱宏伟;武启飞;虞强龙;陈奇;高永喜;张敬娣;廖良生 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，具体公开了一种蒸镀腔内体冷却结构及蒸镀装置。蒸镀腔体内冷却结构包括至少一个冷却板，冷却板设置于坩埚与蒸镀盘之间，且冷却板周边与蒸镀腔体的侧壁连接，冷却板上开设有能使坩埚蒸发的物质蒸镀至基片上的通孔。本实用新型提供的蒸镀腔体内冷却结构在蒸镀腔体内设置冷却板，冷却板置于坩埚和蒸镀盘之间，坩埚的热量辐射到冷却板上，冷却板直接带走热量，降低了辐射到基片和蒸镀腔体侧壁上的热量，并且沉积在冷却板上的蒸镀物质和杂质气体会因冷却板温度低而不易脱附，降低了对基片镀膜的影响。此外，基片上的热量辐射传递到冷却板上，使基片周围温度降低，防止基片的有机镀层被破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀腔 体内 冷却 结构 装置 | ||
【主权项】：
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