[实用新型]一种晶圆生产加工专用预烘装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆生产加工专用预烘装置，包括箱体，所述箱体的表面开设有多个加工腔，所述加工腔的内侧设置有放置板，所述加工腔的内壁开设有滑动槽，所述加工腔的内部还设置有侧安装框，所述侧安装框的后表面固定有嵌入至滑动槽内部的连接柱，所述连接柱与滑动槽之间安装有多个内置弹簧，所述滑动槽的内壁上等距离设置有多个限位卡板，所述连接柱的表面开设有供限位卡板卡入的槽；通过设计的连接柱和滑动槽，可以在使用中，根据不同的加工需求来调节放置板的高度，从而满足不同的放置需求，同时整体调节起来十分简单，易于操作，以及设计的内置弹簧和限位卡板，能够保证调节后的稳定性。