[实用新型]半导体制造用化学药液的温度控制装置

摘要

本实用新型公开一种半导体制造用化学药液的温度控制装置。本实用新型的半导体制造用化学药液的温度控制装置安装于化学药液循环供应管以控制化学药液的温度，其包括：第1散热设备部(100)，其在内部形成有冷却水流路；多个热电模块(200)，其分别与所述第1散热设备部的两侧面接触地设置；及第2散热设备部(300)，中间隔着所述第1散热设备部(100)分别与所述多个热电模块(200)接触地设置，并设有沿着其内部流动化学药液的多个化学药液流路管(310)。根据本实用新型，能够提高从第2散热设备部向化学药液的热传送效率，而能够便利有效地进行化学药液的温度控制。