[实用新型]一种用于硅基陶瓷微热板的激光微加工刻蚀设备

摘要

本实用新型涉及激光刻蚀设备技术领域，且公开了一种用于硅基陶瓷微热板的激光微加工刻蚀设备，包括底板，所述所述底板的上表面固定连接有底座，所述底座的上表面开设有第一凹槽，所述第一凹槽的上表面开设有第二凹槽，所述第二凹槽内壁的底部固定连接有伺服电机。本实用新型通过设置有伺服电机、转轴、转盘、第一电机、螺纹杆和夹紧板，开启第一电机，第一电机带动螺纹杆转动使夹紧板向中间移动，然后开启伺服电机，伺服电机带动转轴和转盘转动，当加工零件移动到激光发射器下面进行加工时，可以将下一件待加工零件放置在转盘上，减少零件加工后的等待时间，进而提高了生产效率和减少劳动强度。