[实用新型]一种晶圆背面磨床的磨削吸盘

摘要

本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的磨削吸盘，所述磨削吸盘包括吸盘主体以及调节吸管体，所述吸盘主体上端面处设置有若干个吸气孔组，若干个所述吸气孔组以吸盘主体的轴线为中心线环形阵列设置，所述吸气孔组包括至少两个吸气孔体，所述吸气孔体不贯穿所述吸盘主体，所述吸盘主体侧曲面上均匀的设置有若干个插孔，所述插孔与吸气孔体相连通，所述调节吸管体插入设置在插孔内，所述调节吸管体内部中空，所述调节吸管体的侧曲面上沿其轴线方向的均匀设置有若干个通气孔组，每个所述通气孔组均包括不同数量的通气孔体，所述通气孔体与吸气孔体相配合。本实用新型适配不同规格的晶圆，提高了装配以及生产效率，保证了产品质量。