[实用新型]一种半导体设备内不锈钢气管的测漏固定治具有效
| 申请号： | 202022652710.6 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN213397511U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 张胜心;贺贤汉;朱光宇;王松朋;张正伟;李泓波 | 申请（专利权）人： | 富乐德科技发展（大连）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 盖小静 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市保税区*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体设备内不锈钢气管的测漏固定治具，包括底板，在所述底板上部设有密封端固定块，中部设有波纹管固定板，下部设有出气口固定块，在所述密封端固定块底部设有滑轨螺丝a，所述滑轨螺丝a能在底板的上滑道中移动；所述波纹管固定板包括相连的上盖板和下盖板，所述上盖板和下盖板的内壁凹设有波纹管避让槽，所述波纹管避让槽上部与底部分别连接有气管避让槽，所述下盖板固定在底板上；所述出气口固定块底部设有滑轨螺丝b，所述滑轨螺丝b能在底板的下滑道中移动。在测漏过程中使用本申请固定治具，在保证不损坏不锈钢气管本体性能及形状前提下，可以很好的固定中部波纹管及两端的法兰，且该治具使用简单、操作便捷、固定效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 不锈钢 气管 固定 | ||
【主权项】：
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