[实用新型]静电吸盘

摘要

本实用新型提供一种静电吸盘，包括吸盘主体、电极及设置在所述吸盘主体的顶部的若干凹槽，所述电极嵌入所述吸盘主体并产生静电以吸附限位在所述凹槽内的芯片。本实用新型提供的静电吸盘通过在吸盘主体的顶部设置若干凹槽以对芯片进行限位吸附，用于转移芯片进行清洗或激活处理，并在静电释放后承载芯片与目标晶圆键合，无需将芯片临时键合到载体晶圆进行wafer‑to‑wafer键合，进而无需严格控制wafer‑to‑wafer键合的对准精度，更避免了芯片转移过程中的芯片缺失问题，且本实用新型提供的静电吸盘中芯片放置在凹槽内不需要精确对准，工艺简单。