[实用新型]一种单晶硅制造用石英坩埚有效
| 申请号： | 202022665447.4 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN213925123U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 祁永福;高玉顺;张培顺;韩永龙;何旭;杨延生 | 申请（专利权）人： | 阳光能源（青海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 青海省专利服务中心 63100 | 代理人： | 李玉青 |
| 地址： | 810000 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅制造用石英坩埚，包括外壳，外壳的内壁上套设有内壳，外壳内壁的顶部与内壳外壁的顶部之间设置有第一空心圆环，第一空心圆环的底部固定安装有密封环，外壳的顶端卡接有坩埚盖，坩埚盖的底端固定安装有密封罩，密封罩的底端设置有第二空心圆环，坩埚盖的顶端的中心设置有通孔，通孔内转动连接有提拉杆，本实用新型的有益效果是：通过第一空心圆环与密封罩的卡接，使石英坩埚内部具有良好的气密性，再通过密封环与第二空心圆环的卡接大大的增强了石英坩埚的气体密闭性，保证了外部空气不会进入石英坩埚内部对单晶硅造成污染，提升单晶硅的生产制备效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 制造 石英 坩埚 | ||
【主权项】：
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