[实用新型]一种罩式真空退火炉有效

专利信息
申请号: 202022668604.7 申请日: 2020-11-18
公开(公告)号: CN213596325U 公开(公告)日: 2021-07-02
发明(设计)人: 濮丹飞 申请(专利权)人: 吴江飞乐天和电子材料有限公司
主分类号: C21D1/26 分类号: C21D1/26;C21D1/773;C21D9/00
代理公司: 苏州国诚专利代理有限公司 32293 代理人: 王丽
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种罩式真空退火炉,包括退火炉主体、真空泵、风扇、保护气瓶和冷凝器,风扇安装在退火炉主体的上端面,退火炉主体外部设置有保护罩,保护罩的内部设置有隔离罩,保护罩与隔离罩滑动连接,保护罩的内端面设置有冷水管,冷水管的两端与冷凝器连接,退火炉主体的下端面设置有真空管,真空管与保护气瓶和真空泵贯通连接,隔离罩的内端面设置有加热器,退火炉主体的底部上端面设置有置物台。本实用新型通过保护罩与隔离罩配合,加强对设备保温的同时为隔离罩提供一定的膨胀空间,避免隔离罩受热膨胀造成设备形变,通过螺旋排列的冷水管与风扇配合,加速了设备内部环境的冷却。
搜索关键词: 一种 真空 退火炉
【主权项】:
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