[实用新型]一种用于显微角分辨光谱系统的角度测量装置

摘要

本专利公开一种用于显微角分辨光谱系统的角度测量装置，包括：科勒照明模块，角分辨光谱测试模块，显微物镜，三维平移台，角度位移台，微型反射镜。通过三维位移台可以精确调整微反射镜的位置，在进行角度测量时，通过精密的三维位移台可以将微型反射镜位置复位，减小位移移动所带来的实验误差。其中微反射镜是角度精确测量的核心部件，其微型化设计方便对短工作距离、大数值孔径物镜傅里叶面的角度进行测量。本专利提供了一种简易的、基于科勒照明的显微角分辨光谱系统角度测量装置及测量方法，所述装置可以作为独立模块对目前常规商用角分辨谱仪或实验室自行搭建开放式角分辨系统进行精确的角度测量。