[实用新型]一种改善颜色均匀性的管式辅助加热装置有效
| 申请号： | 202022671613.1 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN213519878U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 江顺钦 | 申请（专利权）人： | 江苏龙恒新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/324 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210000 江苏省宿迁市经济*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种改善颜色均匀性的管式辅助加热装置，具体涉及加热装置技术领域，其技术方案是：包括连接线一、连接线二、辅助加热装置一、辅助加热装置二和炉管，所述炉管内侧顶部固定安装辅助加热装置一，所述炉管内侧底部固定安装辅助加热装置二，所述辅助加热装置一内部固定安装连接线二，所述辅助加热装置二内部固定安装连接线一，所述炉管内壁固定安装电阻丝，本实用新型有益效果是：通过在炉管底部和顶部分别安装多根辅助加热装置，具有改善管内硅片受热均匀性，成膜速率一致，颜色均匀性较好的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 颜色 均匀 辅助 加热 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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