[实用新型]一种阴极挡板的驱动结构有效
| 申请号： | 202022674415.0 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN213835520U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 林海天;胡致富;李立升 | 申请（专利权）人： | 东莞市华升真空镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 东莞市奥丰知识产权代理事务所(普通合伙) 44424 | 代理人： | 田小红 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市大岭*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种阴极挡板的驱动结构，包括驱动气缸、铰链结构、腔体和阴极挡板，所述阴极挡板的两端分别可转动的安装在腔体上，所述阴极挡板的一端与链接结构的一端相链接，所述铰链结构的另一端与驱动气缸的活塞杆铰接，所述驱动气缸通过铰链结构可驱动阴极挡板做旋转开合运动。本实用新型整体的驱动结构只需要设置一组即可实现对阴极挡板的开合而且阴极挡板的开合控制在有限的空间内，同时也保证阴极挡板的功能，还大大的节省了腔体空间，降低了设备的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 挡板 驱动 结构 | ||
【主权项】：
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