[实用新型]力反馈致动器和微机电系统电容换能器有效
| 申请号： | 202022677761.4 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN213280087U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | M·纳瓦扎;S·C·汤普森;M·佩德森;P·洛佩特;Z·斯比亚 | 申请（专利权）人： | 楼氏电子（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R19/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王青芝;王小东 |
| 地址： | 215131 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及力反馈致动器和微机电系统电容换能器。公开了一种力反馈致动器和MEMS电容换能器。该力反馈致动器包括一对电极和介电构件。一对电极彼此间隔开以形成间隙。介电构件至少部分地设置在间隙内。介电构件包括具有第一介电常数的第一部分和具有与第一介电常数不同的第二介电常数的第二部分。介电构件和一对电极被构造成相对于彼此移动。 | ||
| 搜索关键词： | 反馈 致动器 微机 系统 电容 换能器 | ||
【主权项】：
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