[实用新型]半导体清洗剂用Y型过滤器有效
申请号: | 202022682885.1 | 申请日: | 2020-11-19 |
公开(公告)号: | CN213885194U | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 陈成勋;种光耀 | 申请(专利权)人: | 苏州柏越纳米科技有限公司 |
主分类号: | B01D29/35 | 分类号: | B01D29/35;B01D35/143 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 蒋慧妮 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型揭示了一种半导体清洗剂用Y型过滤器,包括过滤器本体,设置于过滤器内的滤芯,所述滤芯包括一均布有过滤孔的折叠式柔性波纹管,所述柔性波纹管的上端为与所述过滤器内部机械连接的上连接端,所述柔性波纹管的下端为与所述过滤器过滤出口端连接的下连接端。本实用新型的有益效果为:加强了滤芯与过滤器之间的连接,确保了过滤的精度,能更好的适用于高清洗精度的清洗剂的过滤,同时,增强了过滤面积,提高了过滤效率。 | ||
搜索关键词: | 半导体 洗剂 过滤器 | ||
【主权项】:
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