[实用新型]微纳光学元件参数测量装置及其固定机构和角度调节机构

摘要

本实用新型涉及光学测试设备技术领域，且公开了微纳光学元件参数测量装置及其固定机构和角度调节机构，测量装置包括安装座，所述安装座的顶端固定安装有角度调节装置，所述角度调节装置的顶端固定安装有安装滑轨，所述安装滑轨的顶端滑动安装有固定座，所述固定座的顶端固定安装有固定装置，所述固定座的一侧固定连接有伸缩气缸的伸出端，所述伸缩气缸与角度调节装置固定连接，所述安装板的顶端两侧均固定安装有电动推杆，通过设置固定装置以及角度调节装置，使得能够对微纳光学元件的位置与角度进行精准调节，从而保证不同情况下光学参数的测量要求，以此测量出不同的光学参数，具备测量范围大等优点，解决了现有的测量范围小的问题。