[实用新型]一种散气结构及真空设备有效
| 申请号： | 202022697665.6 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN213777278U | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | F17C13/00 | 分类号： | F17C13/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张乐乐 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种散气结构及真空设备，包括至少一个散气件和输气组件，散气件固定在真空室的腔体内，与真空室的内壁之间围成横截面为多边形的储气腔，散气件上开设多个散气孔，输气组件连通储气腔，适于向储气腔内充入气体。横截面为多边形的储气腔结构，其侧边均为平直边，即散气件至少朝向储气腔的壁面为平直面，在平直面上加工散气孔更便捷，且容易对散气孔进行清理，避免散气结构由于清理不干净影响真空室的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 真空设备 | ||
【主权项】：
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