[实用新型]涂胶装置有效
| 申请号： | 202022697916.0 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN214390910U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 诸嘉豪 | 申请（专利权）人： | 无锡迪思微电子有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/00 | 分类号： | B05C11/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 霍文娟 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种涂胶装置，该涂胶装置包括甩干机，甩干机包括甩干机本体和掩膜版架，掩膜版架位于甩干机本体的表面上，掩膜版架用于固定掩膜版。该涂胶装置，包括甩干机，甩干机包括甩干机本体和掩膜版架，掩膜版架位于甩干机本体的表面上，掩膜版架用于固定掩膜版。相比现有技术中的涂胶装置仅为可控制转速和运行时间的直流电机，只具有甩干功能，本申请的涂胶装置在具备甩干功能的同时，通过将掩膜版放置在掩膜版架上，来固定掩膜版，可以使得掩膜版表面的光刻胶在甩干过程中变得较为均匀，保证光刻胶能较为均匀地覆盖掩膜版，避免了现有的涂胶装置无法使得掩膜版均匀涂布光刻胶的问题，保证了掩膜版的涂布光刻胶的效果较好。 | ||
| 搜索关键词： | 涂胶 装置 | ||
【主权项】：
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