[实用新型]一种多晶硅还原炉智能激光清洗机有效

专利信息
申请号: 202022698114.1 申请日: 2020-11-19
公开(公告)号: CN213793257U 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 庹政雄 申请(专利权)人: 深圳市超快激光科技有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;B08B13/00
代理公司: 河南大象律师事务所 41129 代理人: 杨晓虹
地址: 518100 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及还原炉清洗技术领域,且公开了一种多晶硅还原炉智能激光清洗机,包括固定板,固定板上方的前侧设置有伺服电机,伺服电机输出端固定连接有转动轴,转动轴后端固定连接有第一转动板,第一转动板背面固定连接有连接轴,连接轴外表面的后端固定连接有第二转动板,限位圆槽的顶端内部可滑动连接有滑块。该多晶硅还原炉智能激光清洗机,通过伺服电机、转动轴、第一转动板、第二转动板、连接轴、滑块、工型板和伸缩杆的配合作用,可以对激光清洗头的高度进行调节,使装置可以适应于不同尺寸的还原炉底盘,通过限位板、螺纹帽、保护海绵块和防滑凸块的配合作用,可以对激光清洗头进行一定的保护。
搜索关键词: 一种 多晶 还原 智能 激光 清洗
【主权项】:
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