[实用新型]工艺废气输送装置有效
| 申请号： | 202022715580.6 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN214094013U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 黄志平;黄德昇;杨志坚;亓文丽 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D1/20;F15D1/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 250101 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种工艺废气输送装置，包括废气输送管，所述废气输送管上至少设置有一圈间隔分布的氮气接入管，且同一圈所述氮气接入管排出的热氮气形成沿顺时针或逆时针方向运动的旋转气流；任意一所述氮气接入管的气体排出方向与所述废气输送管外壁的母线之间均具有大于0°且小于90°的夹角。在热氮气的冲击作用下，废气输送管内将形成旋转向前运动的螺旋状气流，从而使废气输送管的中心位置形成低压区，粉尘等杂质向废气输送管的中心位置聚集并被旋转气流裹挟排出，有效避免粉尘堆积；一些游离至废气输送管内壁位置的粉尘也会被旋转气流冲刷并再次聚集至废气输送管的中心，从而有效避免粉尘在废气排放管中的附着。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 废气 输送 装置 | ||
【主权项】：
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