[实用新型]一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头有效
| 申请号： | 202022718884.8 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN213895983U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 黄毓彬 | 申请（专利权）人： | 深圳市三钛科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 陈文瑜 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头，包括防护外壳、轭铁片和不锈钢管和第一磁铁，所述不锈钢管的外侧表面套接有若干个轭铁片，所述轭铁片的两侧设有轭铁侧翼，所述轭铁片的顶端安装有定位块，所述轭铁片的上方通过轭铁侧翼限位安装有第二磁铁，所述不锈钢管上位于轭铁片的两端安装有端头组件，所述不锈钢管两端的端头组件的外侧分别安装有第一安装组件和第二安装组件，所述第一安装组件和第二安装组件均通过螺栓与端头组件连接固定。本实用新型具备即可满足批量生产轭铁的多样性，且可大大提高轭铁的制作效率将低成本的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 圆柱 磁控溅射 阴极 端头 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市三钛科技有限公司，未经深圳市三钛科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022718884.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种锅炉料仓进料装置
- 下一篇：一种环标印刷机的正反印系统
- 同类专利
- 专利分类
