[实用新型]一种PI蚀刻液电解再生系统有效

专利信息
申请号: 202022722802.7 申请日: 2020-11-23
公开(公告)号: CN213739697U 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 方磊;杨洁;孙彬;沈洪;李晓华 申请(专利权)人: 上达电子(深圳)股份有限公司
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46;C25B1/00;C25B9/00
代理公司: 徐州市三联专利事务所 32220 代理人: 张帅
地址: 518100 广东省深圳市宝安区沙井街道黄*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种PI蚀刻液电解再生系统,属于蚀刻液电解技术领域。包括PI蚀刻液储槽、泵、过滤器和电解再生装置,所述的过滤器设置在PI蚀刻液储槽底部循环PI蚀刻液储槽内的PI蚀刻液,所述的电解再生装置设置在PI蚀刻液储槽的一侧,电解再生装置与PI蚀刻液储槽相通,PI蚀刻液储槽内的PI蚀刻液从PI蚀刻液储槽的槽体底部通过泵抽至电解再生装置内,电解再生装置电解再生后将PI蚀刻液再抽回PI蚀刻液储槽。本实用新型的有益效果是:本实用新型通过电解再生装置,提高药液中高锰酸根离子浓度,延长药液寿命,节省药水成本;减少药液使用,将产生的无用成分回收利用,减少废液产生,减少环境污染,降低废水处理成本。
搜索关键词: 一种 pi 蚀刻 电解 再生 系统
【主权项】:
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