[实用新型]集成电路印刷装置用清洁设备以及集成电路印刷装置有效
| 申请号： | 202022723880.9 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN214391221U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 王柏谕 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B5/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 215323 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种集成电路印刷装置用清洁设备。所述集成电路印刷装置用清洁设备包括：制动装置、清洁液供应装置以及抽气装置。所述制动装置包括可替换擦拭组件，其中当所述制动装置制动时，将所述可替换擦拭组件的第一擦拭单元替换为第二擦拭单元。所述清洁液供应装置紧邻于所述制动装置设置，用于提供清洁液给所述可替换擦拭组件以擦拭所述集成电路印刷钢网。所述抽气装置紧邻于所述制动装置设置，用于提供吸力以吸取所述集成电路印刷钢网上的所述清洁液。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 印刷 装置 清洁 设备 以及 | ||
【主权项】：
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