[实用新型]石英加料器清扫装置有效
| 申请号： | 202022724337.0 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN213680981U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 闫龙;魏兴彤 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 曹广涛 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型的石英加料器清扫装置包括清扫杆、若干连接杆、石英清扫面板，所述清扫杆的下端与连接杆的第一端固定连接，连接杆沿着清扫杆径向呈放射状分布在清扫杆上，连接杆的第二端与石英清扫面板固定连接，石英清扫面板的数量与连接杆的数量相同，使用时，石英清扫面板与加料器的内壁接触，且石英清扫面板与加料器内壁接触的一面为弧面，以减小石英清扫面板与加料器的摩擦。在使用时，通过转动石英加料器清扫装置，同时，使石英加料器清扫装置沿着加料器轴向运动，可对加料器的整个内壁进行彻底清扫，高效且不会引入新的杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 料器 清扫 装置 | ||
【主权项】：
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