[实用新型]一种真空镀膜工件盘翻转装置有效
| 申请号： | 202022727092.7 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN214115710U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 任海宾;党亚军;马文鹏 | 申请（专利权）人： | 南阳清水科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京隆达恒晟知识产权代理有限公司 11899 | 代理人： | 时移 |
| 地址： | 473000 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜工件盘翻转装置，包括工转检测部件及设置在工转检测部件底部的环形工件架，环型工件架由内环型工架和外环型工架组成，所述内环型工架的外侧设有外环型工架，所述内环型工架旋装固定于工转检测部件的底部，所述内环型工架的外周沿顶部均布开设有轴槽，所述轴槽内均卡装有用于固定工件盘顶端的转动固定压座Ⅰ，所述外环型工架周沿顶部均布有与所述内环型工架外周沿顶部轴槽相对称的翻转部件固定台。本实用新型结构简单，操作方便，从而实现了工件的一次性装夹并完成双面镀膜的要求，有效的提高工作速率及生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 工件 翻转 装置 | ||
【主权项】：
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