[实用新型]晶体掺杂装置有效
| 申请号： | 202022732993.5 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN213951411U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 朱彦勋;施英汝 | 申请（专利权）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京伟思知识产权代理事务所(普通合伙) 11725 | 代理人： | 聂宁乐;付艳红 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种晶体掺杂装置包括一罩盖、一容杯及一缓冲件，所述晶体掺杂装置是设置于一坩埚上方，所述罩盖内部具有一容置空间，且具有朝向所述坩埚方向的一开口；所述容杯设置于所述容置空间中，且用以容置一掺杂物，所述容杯底部呈锥形并具有一开孔；所述缓冲件设置于所述容置空间中且位于所述容杯下方，所述缓冲件具有一承接面及一出料部，所述承接面呈倾斜设置且位于所述开孔的正下方，所述出料部连接于所述承接面且位置低于所述承接面。借此，改善掺杂效率和避免掺杂物之熔液飞溅。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体 掺杂 装置 | ||
【主权项】：
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