[实用新型]一种在真空环境内传动电池片的传送机构有效
| 申请号： | 202022736884.0 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN213242518U | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 王锴 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种在真空环境内传动电池片的传送机构，包括：真空室，设有一开口：升降装置，包括一端自开口伸进真空室内的升降座和驱动升降座做竖向往复运动的动力源；升降座上开设有通孔；波纹管，连接在真空室内壁和升降座之间；磁流体密封装置，包括连接在升降座上的磁流体容器和一端自升降座上的通孔伸进真空室内的磁流体轴；磁流体轴的一端连接有托取臂，另一端连接有驱动源。托取臂通过升降装置和驱动源分别实现升降运动和旋转运动，进而实现电池片在真空室内的传送，电池片不需要反复进出真空室，避免了电池片因离开真空室而与空气接触影响镀层性质、进而影响电池效率的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 环境 传动 电池 传送 机构 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
