[实用新型]一种远程等离子体源RPS腔体结构有效
| 申请号： | 202022752230.7 | 申请日： | 2020-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN213459632U | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 刘文丰;崔婷婷;皮昌全 | 申请（专利权）人： | 江苏信基科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 潘云峰 |
| 地址： | 225000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种远程等离子体源RPS腔体结构，包括进气腔一端设有进气口，另一端底部设有点火口；进气喷嘴设在进气口；电离腔竖向设在点火口上方，底端与进气腔另一端顶部连通设置，口径大于进气腔口径；出气腔横向设置在电离腔上方，一端与电离腔顶端连通，另一端设有排气口；回流腔连通电离腔顶端与进气腔靠近进气口一侧顶部。本实用新型气体由进气口进入经过进气腔到达电离腔，点火发生电离反应生成氟离子，通过出气口排出至反应室内，未电离气体由回流腔回流至进气腔内；电离腔的口径大于进气腔，气体在进入电离腔内部时降低了压力，降低了F原子因激烈的碰撞重新组合在一起的概率，使F原子剩余百分比增加，提高了清洁的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 远程 等离子体 rps 结构 | ||
【主权项】：
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