[实用新型]气相沉积设备观察窗保护装置

摘要

本实用新型涉及一种气相沉积设备观察窗保护装置，它包括穿设于观察窗旁侧壁面上的轴座组件、穿设于轴座组件内且能相对轴座组件转动的转轴组件以及下端固设于转轴组件内端部且通过转轴组件转动进行摆动的悬臂以及与悬臂上端固定且能随悬臂摆动遮罩或摆离观察窗的遮挡结构。本实用新型的目的在于提供一种气相沉积设备观察窗保护装置，通过遮挡真空腔体的观察窗，不需观察时把观察窗与真空腔体隔绝，保持观察窗的清晰度。