[实用新型]用于长晶炉的支撑组件和长晶炉组件有效
| 申请号： | 202022765884.3 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN215404639U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 陈翼;黄末;刘奇;冯参 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄玉霞 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于长晶炉的支撑组件和长晶炉组件，长晶炉包括由上向下依次相连的第一炉体组件、第二炉体组件和第三炉体组件，第一炉体组件与第二炉体组件可分离配合，第二炉体组件与第三炉体组件可分离配合，支撑组件包括第一支撑装置、第二支撑装置和第三支撑装置，第一支撑装置适于与第一炉体组件相连以至少驱动第一炉体组件上下移动，第二支撑装置适于与第二炉体组件相连以至少驱动第二炉体组件绕第二支撑装置的中心轴线转动，第三支撑装置适于与第三炉体组件相连以至少驱动第三炉体组件上下移动。根据本实用新型的用于长晶炉的支撑组件，可以有效缩短量产工时，避免长晶炉热场对下一周期的晶体生长产生影响。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 长晶炉 支撑 组件 | ||
【主权项】：
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