[实用新型]一种COF曝光机专用精密多功能工件台

摘要

本实用新型涉及一种COF曝光机专用精密多功能工件台，包括吸附板、XYθ工作台和Z工作台，所述的吸附板设置在XYθ工作台的顶部，XYθ工作台底部连接Z工作台，XYθ工作台包括θ驱动板、XY驱动板和XYθ工作台基板，Z工作台包括Z顶部基板、Z驱动基板和Z基板，COF基材通过吸附板吸附在多功能工件台上，所述的吸附板有效区域内表面上设有密集的小孔。本实用新型的有益效果是：可以XYZθ四个方向运动，保证基材地对位标记和掩模版上的mark对位的一致性。吸附平台表面喷涂一层特氟龙材质，耐磨损，摩擦系数较低，不会对COF基材造成划伤。吸附台表面是致密的小孔，当基材通过吸附平台时，吸附平台会分区真空吸附，保证了COF基材地平整度。