[实用新型]一种集成电路生产用排气节能设备

摘要

本实用新型涉及集成电路生产技术领域，且公开了一种集成电路生产用排气节能设备，包括底箱，所述底箱内壁的左侧开设有进风口，所述进风口的内部插接有过滤网，所述底箱内壁的底部栓接有生产台，所述底箱内壁的底部并位于生产台的右侧栓接有鼓风机，所述鼓风机的左侧连通有吸风管，所述吸风管的另一端连通有风板，所述风板位于生产台右上方；通过使用大面积风板的对于热量气体的吸收，可以将热量气体尽可能的彻底吸收，再通过分流器的作用将热量气体分散，可以实现多孔排放的方式，进而提高了集成电路生产过程中热量气体排放的效率，而且可以有效的避免设备损坏而造成的安全事故，影响工程进度。