[实用新型]一种扩散泵底加热板结构有效
| 申请号： | 202022773699.9 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN214007633U | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 姜太星 | 申请（专利权）人： | 山东省宝丰镀膜有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/00 | 分类号： | F04F9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 262515 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及扩散泵辅件技术领域，具体地说，涉及一种扩散泵底加热板结构。包括加热板和用于将加热板紧固在扩散泵底部的紧固装置，所述加热板与扩散泵的底部之间设置有石墨纸。本实用新型所述加热板和扩散泵的泵底中间垫石墨纸，可有效填充加热板和扩散泵底的间隙，保证有效传热，且石墨纸有可压缩性，保证重复加热冷却后加热板和扩散泵底始终有效接触传热，防止加热板因温度过高而损毁，同时，采用不锈钢或耐热钢制作的紧固装置，线涨系数小，能有效避免螺栓因加热线涨造成的加热板与泵底接触不良，从而避免加热板变形、损坏，以保证扩散泵长期稳定运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 加热 板结 | ||
【主权项】：
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