[实用新型]一种超精密平行放大式促动器

摘要

本实用新型提供了一种超精密平行放大式促动器，包括放大式促动器主体和压电陶瓷，放大式促动器主体包括陶瓷左固定端、四个柔性铰链、下圆弧凸台、陶瓷右固定端和上圆弧凸台，陶瓷左固定端、上圆弧凸台、陶瓷右固定端和下圆弧凸台顺次连接形成闭环式中空腔，相邻两结构之间均通过一柔性铰链连接，两圆弧凸台上下对称布置，压电陶瓷两端分别与陶瓷左固定端和陶瓷右固定端接触，陶瓷左固定端和陶瓷右固定端的中心连线与水平线呈夹角α布置，四个柔性铰链和两圆弧凸台的外侧面均为平面，在放大式促动器主体的上表面贴有若干应变传感器。本实用新型具有小体积、高精度、误差小和传动速度快的特点，且多个产品可拼装成更大位移及多自由度定位台。