[实用新型]太阳能电池上镀膜的硅片载板有效
| 申请号： | 202022778197.5 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN214193440U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 蔡新兴;孙铁囤;姚伟忠;杨宇城 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 李楠 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种太阳能电池上镀膜的硅片载板，包括石墨板和设置在石墨板顶部的载板，载板的顶部开设有用于放置硅片的第一凹槽，第一凹槽的槽底开设有贯通槽底上下端面的气孔；所述石墨板的顶部开设有第二凹槽，硅片的径向尺寸＞第二凹槽的径向尺寸＞气孔的径向尺寸，所述第二凹槽仅通过气孔与外部连通，通过本套装置，将带气孔的载板放置在设有第二凹槽的石墨板顶部，石墨板的第二凹槽内存在的空气不影响硅片真空吸附，同时在出料腔回气时粉尘完全接触该石墨板不会污染到现有载板。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 镀膜 硅片 | ||
【主权项】：
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