[实用新型]全自动晶圆外观检测机有效
| 申请号： | 202022781700.2 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN213670548U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 卢传播 | 申请（专利权）人： | 厦门市弘瀚电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;B07C5/34;B07C5/38 |
| 代理公司： | 厦门市天富勤知识产权代理事务所(普通合伙) 35244 | 代理人： | 唐绍烈 |
| 地址： | 361000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开全自动晶圆外观检测机，包括机架，所述机架上设置加工转盘，加工转盘设置有加工盘，所述加工转盘带动加工盘转动，其特征在于：所述加工盘沿转动方向依次经过上料工位、蓝膜检测工位、晶圆检测工位、不合格品收料工位和合格品收料工位；所述上料工位外侧设置有上料装置，所述蓝膜检测工位上方架设有蓝膜视觉检测器，所述晶圆检测工位上方架设有晶圆视觉检测器，所述不合格品收料工位外侧设置有不合格品收料装置，所述合格品收料工位外侧设置有合格品收料装置。本实用新型实现了全自动晶圆外观检测，可实现自动上料、自动检测、废料回收和成品收料；本案通过一个料架进行上料和收料，减小了机器的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 外观 检测 | ||
【主权项】：
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