[实用新型]一种光刻机用CCD系统的精度调节机构有效
| 申请号： | 202022803646.7 | 申请日： | 2020-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN213581738U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 王华;甘泉;冯明瑞 | 申请（专利权）人： | 广东科视光学技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 | 代理人： | 成伟 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机用CCD系统的精度调节机构，涉及CCD调整机构领域，包括X向旋转组件和Y向旋转组件，X向旋转组件包括X向旋转板、X向旋转定位螺钉、X向复位弹簧、X向连接块和X向调节柱；Y向旋转组件包括Y向旋转板、Y向定位板、Y向旋转轴套和Y向复位弹簧。本实用新型X向调节柱插入X向调节孔后，X向旋转板沿X向旋转定位螺钉旋转，即实现X向旋转；将Y向旋转板向外拉动，旋转轴连接件在Y向旋转轴套上旋转，Y向旋转板与Y向定位板相对旋转，即实现Y向旋转；本实用新型只需进行一次精度调节，调节完成后不需要第二次调节。本实用新型结构合理，拆装、维修方便，使用不方便，成本低，定位精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 ccd 系统 精度 调节 机构 | ||
【主权项】：
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