[实用新型]一种用于气相合成纳米材料的供料系统

摘要

本实用新型属于纳米材料生产领域，并具体公开了一种用于气相合成纳米材料的供料系统。该系统包括两组以上的前驱体供料装置，各个前驱体供料装置的结构相同，均包括载气单元、前驱体单元和混合单元，其中：前驱体单元伸入混合单元，用于向混合单元提供液态前驱体；载气单元的末端通过鼓泡喷头伸入混合单元，用于向混合单元提供载气；混合单元通过加热液态前驱体以生成前驱体蒸气，并在载气的携带下送入前驱体反应器。本实用新型通过控制每组供料装置的载气流量和加热温度调节每种前驱体的浓度和流量，以满足气相合成纳米材料制备的要求，实现前驱体原料供应浓度、流量以及混合比例的精确可调。