[实用新型]一种硅晶片生产用硅片碱蚀机

摘要

本实用新型公开了一种硅晶片生产用硅片碱蚀机，包括支架，所述支架的内侧设置有储水池，所述支架的外侧安装有清水箱，所述清水箱相对的一侧支架外侧安装有碱蚀剂箱，所述清水箱的顶端设置有第一导水管，所述碱蚀剂箱的顶端设置有第二导水管，所述储水池的顶端设置有移动组件，所述支架的顶端内侧安装清洗装置。本实用新型，通过设置的移动组件，将需要进行碱蚀处理的硅晶片放在夹具内侧夹住，移动组件可将夹具连同硅晶片进行翻转，可将硅晶片的两面都进行碱蚀处理，设置的清洗装置，可以将硅晶片进行碱蚀处理，处理完成后可将硅晶片进行清洗，加快工作进度，不需要在更换清洗设备进行清洗。