[实用新型]压电MEMS麦克风及其阵列有效
| 申请号： | 202022826865.7 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN214315603U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 童贝;沈宇;石正雨;段炼 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/02 | 分类号： | H04R17/02;H04R19/04;H04R23/02 |
| 代理公司： | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人： | 周雷 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种压电MEMS麦克风及其阵列，所述麦克风包括具有背腔的基底、设置于所述基底上的支撑部以及固定于所述支撑部的压电膜片，所述压电膜片包括固定于所述支撑部的锚定部及与所述锚定部相连的活动部，所述活动部沿所述基底的轴向的正投影落入所述背腔内，所述活动部连续弯折形成波浪形结构；所述波浪形结构包括自所述压电膜片背离所述背腔的第一表面朝向所述背腔凹陷的若干第一凹槽以及自所述压电膜片靠近所述背腔的第二表面背离所述背腔凹陷的若干第二凹槽，所述第一凹槽与第二凹槽交错设置。通过以上方式，可提高压电膜片在外界声压下的形变和位移量，从而增加电压输出，提高麦克风的灵敏度，且降低压电膜片的残余应力。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 mems 麦克风 及其 阵列 | ||
【主权项】：
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